JW-300A晶圆贴膜机

产品特点

体积小，操作方便，适用于桌面放置以及满足上述规格

的晶圆。

晶圆减薄前贴膜性能：晶圆收益≥99.9%

贴膜质量：没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡)

每小时产能：≥ 80片晶圆

更换产品时间：5min

规格参数

晶圆尺寸(英寸)： 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"

晶圆厚度： 300 - 750μm

晶圆种类：

晶圆材料：硅，砷化镓或其他

晶圆工艺：单平边，双平边，V型缺口

胶膜种类

胶膜材料：蓝膜或UV膜

胶膜规格：长度--100m;

                                          宽度--120 ~ 240mm;

                                          厚度--0.05 ~ 0.2mm;

贴膜原理：防静电滚轮贴膜

贴膜动作：自动拉膜和贴膜

晶圆台盘：通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘或硅胶台盘或陶瓷台盘

晶圆装载方式：手动放置与取出。

防静电控制：防静电特氟龙涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器

切割系统

的手动可调整环形切刀适用于不同的晶圆外形

刀头带独立加热机构无任何飞边，并省去修边

的手动直切刀设计，为省膜的设计；

晶圆定位：通用标线/弹簧销钉

安全防护：配置紧急停机按钮

电源：AC 220V 10A