产品详情
箱式 BZS250GF-TS紫外臭氧清洗机 技术参数:
(01)整机采用不锈钢304制作,关键元器件采用施耐德,欧姆龙等品牌;
(02)灯管:特殊格栅状灯管(进口石英材料),光强26-30mW/cm2,250W,寿命5000小时;
(03)主要工作光谱波长:185nm+254nm;
(04)有效清洗面积:8、10英寸(可选择其中一种清洗尺寸);
(05)清洗时间控制器:0~99.99小时或分钟;
(06)安全防护功能:当清洗腔门打开时,灯管自动熄灭;
(07)寿命计时器:计算灯管使用寿命;
(08)照射高度: 配置升降托盘,可调高度0~130mm;
(09)UV ON/OFF指示,异常指示/警报;
(10)灯管预热:具灯管预热提示功能,使清洗数据更精准;
(11)排风功能:自带臭氧排风系统,可分档调节风速,8cm直径出风口,配置风管及紧固件;
(12)加热(选配):可选择加配外置加热平台,温度范围:常温~450摄氏度;
(13)电源:220V;
(14)净重:22kg;
箱式 BZS250GF-TS紫外臭氧清洗机 应用领域:
■在进行薄膜沉积之前行基片清洗。清除浮渣和稳定化处理光刻胶。超高真空度密封。
■清洗硅芯片,透镜,反光镜,太阳能面板,冷轧钢,惯性引导零件和 GaAs芯片
■清洁焊剂,混合电路以及平板LCD显示器
■蚀刻特氟隆,氟橡胶以及其它有机材料
■增强GaAs 和Si氧化物钝化表面
■增强玻璃的除气作用
■基片蓝膜去除
■增强塑料表面的镀膜的粘附性
■基片终测后墨迹清楚
■去除光刻胶
■平板显示器/液晶显示器
■去除光刻机台上的光刻胶残留物
■在电路板封装和打片之前清洗)
■光纤
■增强表面亲水特性
■为生物科学应用做清洗和消毒
■光学透镜
■其它应用
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