产品详情
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。适用于印制线路板行业，半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污，软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。
半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗。
硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
编号 | 项目 | 技术参数 |
1 | 整机规格 | 1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H） |
2 | 真空室规格 | 进口合金铝1140(W)×1550（D)×1130(H) mm |
3 | 电极板规格 | 16层垂直式式电极板（850mm×550mm） |
4 | 控制系统 | PC工控系统+PLC自动控制 |
5 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻式真空计 |
6 | 气体计量系统 | 精确质量流量控制计 MFC |
7 | 气体路数 | 2—5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等离子发生器 | 10KW等离子体发生源（40KHz，可选13.56MHz） |
9 | 工作气体 | 2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2 |
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