产品详情
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。
摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁；
半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗 ；
硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
编号 | 项目 | 技术参数 |
1 | 整台机器规格 | PR60L：920mm(W)× 960mm(D)×1720mm（H） PR80L：920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H） |
2 | 真空室规格 | PR60L: 进口铝 400(W)×400(H)×400(D)mm PR80L: 进口铝 450(W)×400(H)×450(D)mm |
3 | 电极板规格 | PR60L：6层平板式电极板（380(W)×310(D)mm） PR80L：8层平板式电极板（420(W)×360(D)mm） |
4 | 控制系统 | 触摸屏+PLC控制 |
5 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻式真空计 |
6 | 气体计量系统 | 精确质量流量控制计 MFC |
7 | 气体路数 | 2路进气，1路放空 |
8 | 等离子发生器 | 500W&1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz） |
9 | 工作气体 | 2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2 |
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