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在线式(自动化)微波等离子体系统

  • 产地
  • 所在地
  • 暂无
  • 江苏苏州市

更新时间:2025-06-25

有效日期:还剩91

产品详情

产品介绍

规格参数

项目

 固态源版本

 磁控管版本

输出功率

250W×8

1.25kW×2

输出频率

2400MHz-2500MHz可调节

2450MHz±25MHz

频率误差

±50ppm

1-2%

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

冷却方式

水冷(1/8宝塔接头,水流量≥2.5L/min,进水温度小于环境温度时,两者温度差≤10°C)

水冷(DN15宝塔接头,水流量≥2.5L/min,进水温度小于环境温度时,两者温度差≤10°C)

工艺气体

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

等离子处理

面积

0.19m2

0.15m2



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发布询价单

奥坤鑫(苏州)机电科技有限

型:
其他
联系人:
刘总

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商家概况

主营产品:
表面处理设备配件
公司性质:
其他

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