恒压真空泵

KT-PID1000Z是一款真空恒压控制系统，系统支持4立方-16立方每小时抽速的各种型号双级旋片机械泵，通过线性阀门控制真空泵的抽气速率，进而获得对腔室内压力的精密测量和恒压控制，可与我公司的管式炉、镀膜仪，封口机等设备结合，实现PVD、CVD以及PECVD等工艺的压力恒定的精确控制。

广泛应用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器中。

技术参数：

控制方式：PID算法控制

控制范围：1000Pa-1Pa （根据腔体大小 真空泵抽气速率）

PID调节抽速率范围：0-100％

支持真空泵：4-16立方米每小时抽气速率

抽气口真空法兰：KF16 KF25 KF40