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Pfeiffer 经济型分子泵组 HiCube Eco 紧凑设计高性能，前级泵配备隔膜泵保证清洁无油，分子泵可选Hipace 80。分子泵组极限真空度 < 1x10-6 Pa。此款泵组是众多小型镀膜仪 蒸镀仪 真空无油环境应用的理想选择
| 控制方式 | 手动一键启动 |
| 前级泵 | 隔膜泵 无油干泵 |
| 前级泵抽气速率 | 0.9m³/h |
| 前级泵极限压强 | ≤50Pa |
| 分子泵 | HiPace 80 90000转/分 |
| 分子泵抽气速率 | 67L/S |
| 分子泵启动时间 | ≤2min |
| 空载极限压强 | ≤1X10-6Pa |
| 真空测量范围 | 5到1E-7Pa |
| 抽气接口 | KF25 |
| 系统电源 | AC220V |
| 系统功率 | 600W |
| 环境温度 | 5~32℃ |
| 冷却方式 | 强制风冷却 |
| 湿度 | ≤80% |
| 噪音 | ＜60分贝 |
| 外形尺寸 | 300 X300 X 350mm |
| 重量 | 18KG |
| 随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X1个 kf25不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 | |
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