EXE-FLOWTM以Exact“正确的流量测量”优秀我们已经将“优秀功能”概念商业化。
有11种标准库存，涵盖从小流量（F.S.10 sccm）到大流量（F. S. 200 slm）。
- 配备新型高性能传感器的低成本型号
- 体积小，重量轻，单电源DC24V驱动
- 配备RS-485通讯功能标准
- 符合RoHS,CE标准
- 集成指示灯操作简单
•瞬时•累积流量显示•气体类型转换 •CF任意设置
•上下限报警设置 •流量单位变更 •低频截止设置
•局号设置 •通讯传输速度变更 etc
EXE-FLOW标准规格
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
|---|---|---|---|
| 流量范围（N2） | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM | |
| 可气体（* 1） | N2（空气，H2，He，Ar，O2，CO2等/通过CF转换切换） | N2（空气切换，Ar / CF转换） | |
| 响应 | 2秒以内 | ||
| 精度（* 2） | ±1.0%F.S. (25℃) | ±1.5％FS（25°C） | |
| 温度系数 | ±0.2%F.S./℃ (15～35℃) ※200SLMのみ±0.4%F.S./℃ | ||
| 再现性 | ±0.2%F.S. | ||
| 耐压 | 980ｋPa(G) | ||
| 允许周围温度 | 5～50℃ | ||
| 允许保管温度 | -10～60℃ | ||
| 允许工作湿度 | 10～90%RH （无结露） | ||
| 气体接触材料 | SUS316，SUS316L，PTFE，FKM（可选NBR，CRP） | ||
| 电气连接 | DC插孔或Dsub 9针公头 | ||
| 数字通信 | RS 485（MODBUS协议，RTU模式）ID：1-247 | ||
| 所需电源（DC） | 24VDC(±10%) 100mA以下 | ||
| 接头 | 1/4F900（标准） | 3/8F900（标准） | |
| 控制针（可选） | MODEL2412 | MODEL2412D | |
| 安装姿势 | 推荐水平方向 | ||
| 输出 | 输出方式 | NPN开集 2点（额定值：DC30V 50ｍA） | |
| 输出数量 | 2点（每个输出可以选择并设置为瞬时流量上限，下限，上限/下限或积分到达，积分脉冲也可以在1点选择。）输出反转是可能的 | ||
| 活动展示 | LED灯（OUT1，OUT2）亮起 | ||
| 模拟输出（* 4） | ①4～20mA (500Ω以下) ②0～5V (10kΩ以上) ③1～5V (10kΩ以上) | ||
| 重量 | 约600g （不含接头） | 约700g （不含接头） | |
（* 1）清洁气体，即干燥气体，不含腐蚀性成分和灰尘，雾气等。
除N2（2为下标）气体外，根据数据得出的计算值进行切换。
（* 2）使用N2气体保证精度。
还有15-35°C的温度保证选项。
请另行咨询。
（* 3）气体切换时，与N2（2为下标）的满量程相同的流量分配。
虽然属于基于测量数据的气体类型校正，但不保证精度。
（* 4）V/I订购时选择。
尺寸图
