捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜

捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜采用新开发的超高分辨率GBSH模式，达到了高水准的分辨率。浸没式肖特基Plus电子枪，将探针电流从200nA提高到了500nA。电子枪和低像差聚光镜的优化组合，实现了更高的亮度，能有效采集电子枪中发射的电子，即使在低加速电压下也能获得几pA～数10 nA 探针电流，保持最小的物镜光阑就可以进行纳米尺寸的高分辨率观察、快速元素面分布及EBSD分析。

捷欧路JEOL JSM-7800FPRIME 热场发射扫描电子显微镜配有四种检测器：高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同，二次电子和背散射电子的数量会改变，因此可以选择电子的能量，USD检测被过滤器弹回的低能量电子，BED通过检测低角度的背散射电子，能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

分辨率	0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV) 分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA)
倍率	× 25 ～ × 1,000,000
加速电压	0.01kV ～ 30kV
束流	数pA～500nA
自动光阑角控制透镜	内置
检测器	高位检测器(UED) 低位检测器(LED)
能量过滤器	UED过滤器电压可变功能内置
Gentle Beam模式	内置
样品台	全对中测角样品台、5轴马达驱动
样品移动范围	X:70mm, Y:50mm  Z: 2mm to 25mm 倾斜－5 ～ ＋70°  旋转360°