捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜

捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜的光学系统经过改进，实现了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的进一步提升，以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。

此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。

捷欧路JEOL JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜主要特点如下：

1.半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。

2.High Power Optics 是的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。

二次电子像分辨率	0.8 nm（加速电压 15 kV），1.0 nm（加速电压 1 kV ） 分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA )
倍率	Direct magnification:  x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） Display magnification:  x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
加速电压	0.1 ～ 30 kV
探针电流	数 pA ～ 200 nA
电子枪	浸没式肖特基场发射电子枪
透镜系统	聚光镜（CL）、  光阑角控制镜（ACL）、  半浸没式物镜（OL）
样品台	全对中测角样品台、5轴马达驱动
电子检测器系列	高位检测器、　r‐过滤器　内置、  低位检测器
自动功能	自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节
图像观察用 液晶显示器	屏幕尺寸 23英寸宽屏  分辨率　1,920 × 1,080像素
抽真空系统	电子枪室／中间室　SIP 离子泵 样品室　TMP 分子泵